Copy mask 規格

Copy mask 規格

1、面罩尺寸 (單位: mm)

鹼石灰: 3006、4009、5009、6009、6012
石英: 5009、6009

 

2、面罩規格 (單位: um)

等級 E D C B A
光盤 ± 0.50 ± 0.75 ± 1.0 ± 1.5 ± 2.0
缺陷 <10.0 <10.0 <10.0 <10.0 <10.0

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