CMM系列大面積高精度座標測量機，通過手動或根據設計的測量程式自動對工件進行座標及長度測量，測量精度可以達到0.1μm，測量面積可達到1500*1850

應用領域:
1．FPD（LCD、OLED、PDP等）、IC封裝、高精度PCB（HDI，BGA、CSP等） 、 Photomask、模具及其他電子行業基板的精密測量。
2．長度及套合尺寸的精密測量，線、縫寬度、圓直徑、圓度、圓環寬等小尺寸的精密測量，以及平整度的測量。
3．.其餘大面積工件高精度長度及二維座標測量場合。