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TFT Mask 規格
TFT Mask 規格
1、正常口罩尺寸 (單位: mm)
| TFT陣列 | TFT CF |
| 152.4 × 6.4 | 450 × 550 × 5.0 |
| 330 × 450 × 5.0 | 508 × 609.6 × 5.0 |
| 390 × 610 × 6.0 | 700 × 800 × 8.0 |
| 520 × 610 × 10.0 | 800 × 920 × 8.0/10.0 |
| 520 × 800 × 10.0 | 800 × 960 × 8.0/10.0 |
| 800 × 920 × 10.0 | 850 × 1200 × 10.0 |
| 850 × 1200 × 10.0 | 850 × 1400 × 10.0 |
| 1220 × 1400 × 13.0 | 1220 × 1400 × 13.0 |
2、光盤規格 (單位: um)
| 等級 | GTM | C | B | A |
| TFT陣列 | ± 0.1 | ± 0.2 | ± 0.35 | / |
| TFT CF | 0.2 | ± 0.35 | ± 0.50 | ± 0.75 |
3、LTPS掩碼規範 (單位: um)
| CD MTT | CD均勻性 | 註冊 |
| 0.1 | ± 0.1 | ± 0.3 |
