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Copy mask 規格

1、Mask size (Unit: mm)

Soda lime: 3006、4009、5009、6009、6012
Quartz:5009、6009

 

2、Mask Specification (Unit: um)

Grade E D C B A
CD ±0.50 ±0.75 ±1.0 ±1.5 ±2.0
Defect <10.0 <10.0 <10.0 <10.0 <10.0

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