LMM系列大面積高精度線寬測量機，通過手動或根據設計的測量程式自動對工件線路進行線寬及套合測量，保證線路寬度及套合精度，測量精度可達到5nm

應用領域:
1．FPD（LCD、OLED、PDP等）、IC封裝、高精度PCB（HDI，BGA、CSP等） 、 Photomask、模具及其他電子行業基板的精密測量。
2．線、縫寬度、圓直徑、圓度、圓環寬等小尺寸的精密測量。