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技術專區 TECHNICAL AREA
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產品研發
時間 研發成果
1998年3月  國內首張大面積高精度蘇打掩膜版研究成功
2002年6月  國內第一套CF用蘇打掩膜版研製成功
2002年12月  國內第一張液體凸版掩膜版研究成功
2005年2月  國內第一張3.5代CF用石英掩膜版研究成功
2006年2月  國內第一套2.5代TFT用鉻版掩膜版研究成功
2006年10月  國內第一張3.5代TFT-CF用大尺寸掩膜版研究成功
2008年3月  國內第一張5代TFT ARRAY用掩膜版研究成功
2009年10月  國內第一張6代TFT ARRAY用掩膜版研究成功
2010年6月  國內第一張AMOLED用掩膜版研究成功
2012年2月  國內第一張8096蘇打TP用掩膜版研究成功
2014年4月  國內第一張8.5代TFT LCD用掩膜版研究成功
2015年2月  國內第一張5.5代LTPS MASK用掩膜版研製成功


設備研發
時間 研發成果
2003年12月  國內第一台高精度長尺寸測量儀研究成功
2006年5月  國內第一台LCVD設備研製成功,本技術屬國際先進
2006年3月  國內第一台大面積光掩膜Pellicle貼合設備研究成功
2007年3月  國內第一台大面積高精度關鍵小尺寸測量設備研究成功
2009年3月  國內第一台TFT LCD激光修補設備研究成功
2010年5月  國內第一台PDP障壁修復機設備
2011年10月  中國首台障壁修補設備通過行業專家鑑定,為中國FPD裝備國產化貢獻力量