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產品研發

時間

研發成果

19983

 國內第一張大面積高精度鉻版掩膜版

20026

 國內第一套彩色濾光片用掩膜版

20022

 國內第一張大面積石英鉻版掩膜版

200512

 國內第一張雷射光束光刻直寫Reticle掩膜版(0.5umIC用掩膜版)

20061

 國內第一張彩色液晶顯示器用大面積石英掩膜版

20073

 國內第一張OLED用大面積鉻版掩膜版

20078

 國內第一張5TFT用掩膜版生產線

20083

 國內第一張5TFT用掩膜版

20105

 國內第一張6TFT用掩膜版

20106

 國內第一張AMOLED用掩膜版測試版

20114

 國內第一張8096 TP掩膜版

20121

 國內第一張4.5AMOLED用掩膜版

20144

 國內第一張8.5TFT-LCD掩膜版

20152

 國內第一張5.5LTPS用掩膜版

201610

 國內第一張6LTPS用掩膜版

 



設備研發

時間

研發成果

200312

 國內第一台高精度長尺寸測量儀

20065

 國內第一台LCVD設備研製成功

20073

 國內第一台CD測量機、第一台貼膜機

20105

 國內第一台PDP壁障修補機

20113

 國內第一台TFT面板修補設備

20125

 國內第一台TFT檢查設備

201512

 國內第一台LRCD1500LCVD修補機

20185

 國內第一台8.5CD測量機

201811

 國內第一台8.5代貼膜機